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美國EXTORR殘余氣體分析儀特點
美國EXTORR殘余氣體分析儀特點
更新時間：2015-09-18 點擊次數：2110
美國EXTORR
殘余氣體分析儀特點
•操作簡單
•可靠，方便
•在線原位分析真空環境及工藝氣體
•定性或定量分析監測濺射鍍膜反應工藝過程中真空室內的氣體分壓強
•優化工藝過程參數，提高鍍膜產品質量
•對真空系統檢漏
美國EXTORR殘余氣體分析儀在工藝中的效果
•改善質量
•提高流片量
•減少停機時間
•改進工藝
•縮小工藝周期
•降低成本
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