電容膜片真空計

Edge CDG100D2 1… 1000 乇/ 毫巴

邊緣™ CDG100D2 - 100°C - 內(nèi)部熱，外部小

INFICON Edge 電容膜片式真空計是專為惡劣制造環(huán)境設(shè)計的極其準確的真空測量儀表。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性，而且具有wuyulunbi的零位穩(wěn)定性。Edge 隨附 INFICON 已獲zhuanli的dute傳感器屏蔽，用于保護真空計，使其免受不需要的過程副產(chǎn)品的影響。電子元件能為所有應(yīng)用提供范圍廣泛的可配置信號調(diào)節(jié)，另外還有 EtherCAT 現(xiàn)場總線接口可供選擇。創(chuàng)新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫，并節(jié)約寶貴的工具空間。INFICON Edge 是同類產(chǎn)品中最小的真空測量儀器。

好處

• 緊湊型，節(jié)省寶貴的工具空間

• 易于集成，各種滿刻度、法蘭，標配兩個設(shè)定點

• 輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調(diào)零點偏移

• 診斷端口便于快速服務(wù)與維護

• 兩年保修服務(wù)，加熱概念和真空計保護延長了使用壽命

• zhuoyue的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是最嚴苛的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準

• 合規(guī)和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

• CVD、蝕刻、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過程